MEMS開關是用微機械加工技術集成在普通硅片上的開關。它用在射頻到毫米波(0.1到1000GHz)的通訊上。一般分為靜電驅動的MEMS開關、電磁驅動的MEMS開關、熱驅動MEMS開關、壓電體驅動的MEMS開關。瀚宸提供MEMS開關器件加工定制服務。產(chǎn)品介紹提供MEMS開關器件加工定制服務。光刻、刻蝕、鍍膜、鍵合等加工工藝,歡迎來圖定制!
光波導芯片是一種用于傳輸光信號的集成電路,其主要功能是將電信號轉換為光信號,并將光信號傳輸?shù)搅硪欢?。瀚宸提供光波導芯片加工定制服務。產(chǎn)品介紹中慧芯提供光波導芯片MEMS加工定制服務。光刻、刻蝕、鍍膜、鍵合等加工工藝,歡迎來圖定制!
定制氮化硅薄膜窗格是同步輻射X射線、軟X射線、紫外或極紫外樣品結構分析或透射成像實驗的理想承載體。瀚宸可根據(jù)用戶需求,提供定制化解決方案。
微流控器件最主要的加工方法是來自于微電子行業(yè)的光刻技術和來自于表面圖案化的軟光刻技術。在上述兩種技術的基礎上,為了制作完整的微流控微通道,一般還需要對兩片材料進行鍵合。玻璃和硅片等材料通過高溫、高壓或高電壓等方法鍵合,而PDMS材料通過氧等離子處理進行鍵合。 微流控芯片采用類似半導體的微機電加工技術在芯片