微流控器件最主要的加工方法是來自于微電子行業(yè)的光刻技術(shù)和來自于表面圖案化的軟光刻技術(shù)。在上述兩種技術(shù)的基礎(chǔ)上,為了制作完整的微流控微通道,一般還需要對兩片材料進(jìn)行鍵合。玻璃和硅片等材料通過高溫、高壓或高電壓等方法鍵合,而PDMS材料通過氧等離子處理進(jìn)行鍵合。 微流控芯片采用類似半導(dǎo)體的微機(jī)電加工技術(shù)在芯片上構(gòu)建微流路系統(tǒng),將實驗與分析過程轉(zhuǎn)載到由彼此聯(lián)系的路徑和液相小室組成的芯片結(jié)構(gòu)上,加載生物樣品和反應(yīng)液后,采用微機(jī)械泵、電水力泵和電滲流等方法驅(qū)動芯片中緩沖液的流動,形成微流路,于芯片上進(jìn)行一種或連續(xù)多種的反應(yīng)。 瀚宸提供微流控器件、微流控芯片加工定制服務(wù)。
PDMS器件 | ·微米級別線寬,采用高精度模具 |
硅流道器件 | ·納米級別線寬,可控精度±5%以內(nèi),流道最大深寬比可達(dá)20:1 |
玻璃流道器件 | ·微米級別深度,可控精度±10%,深寬比可達(dá)1:2 |